特許
J-GLOBAL ID:201103058190539522
発熱量算出式作成システム、発熱量算出式の作成方法、発熱量測定システム、及び発熱量の測定方法
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-075097
公開番号(公開出願番号):特開2011-209008
出願日: 2010年03月29日
公開日(公表日): 2011年10月20日
要約:
【課題】ガスの発熱量を容易に測定可能な発熱量算出式作成システムを提供する。【解決手段】複数の混合ガスのそれぞれが注入されるチャンバ101と、チャンバ101に配置され、測温素子及び複数の発熱温度で発熱する発熱素子を含むマイクロチップ8と、複数の混合ガスのそれぞれの温度に依存する測温素子からの電気信号の値、及び複数の発熱温度のそれぞれにおける発熱素子からの電気信号の値を計測する計測モジュール301と、複数の混合ガスの既知の発熱量の値、測温素子からの電気信号の値、及び複数の発熱温度における発熱素子からの電気信号の値に基づいて、測温素子からの電気信号及び複数の発熱温度における発熱素子からの電気信号を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を作成する式作成モジュールと、を備える発熱量算出式作成システムを提供する。【選択図】図6
請求項(抜粋):
複数の混合ガスのそれぞれが注入される容器と、
前記容器に配置された測温素子と、
前記容器に配置された、複数の発熱温度で発熱する発熱素子と、
前記複数の混合ガスのそれぞれの温度に依存する前記測温素子からの電気信号の値と、前記複数の発熱温度のそれぞれにおける前記発熱素子からの電気信号の値と、を計測する計測モジュールと、
前記複数の混合ガスの既知の発熱量の値、前記測温素子からの電気信号の値、及び前記複数の発熱温度における前記発熱素子からの電気信号の値に基づいて、前記測温素子からの電気信号及び前記複数の発熱温度における前記発熱素子からの電気信号を独立変数とし、前記発熱量を従属変数とする発熱量算出式を作成する式作成モジュールと、
を備える、発熱量算出式作成システム。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (12件):
2G040AA03
, 2G040AB15
, 2G040BA02
, 2G040BA23
, 2G040CA02
, 2G040CA13
, 2G040CA22
, 2G040DA02
, 2G040EA02
, 2G040EA13
, 2G040EB02
, 2G040GA05
引用特許:
引用文献:
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