特許
J-GLOBAL ID:201103058295867878

画像特徴抽出装置、画像特徴抽出方法、監視検査システム、半導体露光システム、およびインターフェースシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 古谷 史旺
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-355975
公開番号(公開出願番号):特開2001-175878
特許番号:特許第3386025号
出願日: 1999年12月15日
公開日(公表日): 2001年06月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被写界を撮像して微分画像信号を生成する微分画像信号生成部と、前記微分画像信号生成部から出力される微分画像信号を行毎に処理し、前記被写界内の左端エッジおよび右端エッジを検出するエッジ座標検出部と、前記エッジ座標検出部で行毎に検出された、左端エッジおよび右端エッジの情報を、被写界内の物体の特徴として保存するエッジ座標記憶部と、前記エッジ座標検出部で検出された、前記左端エッジおよび前記右端エッジに対して雑音成分の除去を行う雑音除去部を備え、前記雑音除去部は、処理行(雑音除去の対象行)を含んで近接する複数行に左端エッジが存在する場合、前記複数行について左端エッジの最左端を求め、その最左端の更に左側位置を前記処理行の左端エッジとする左端膨張処理部と、前記複数行に右端エッジが存在する場合、前記複数行について右端エッジの最右端を求め、その最右端の更に右側位置を、前記処理行の右端エッジとする右端膨張処理部と、前記複数行にエッジ欠損がある場合は、前記処理行の左端エッジを消去し、それ以外の場合は、前記複数行について左端エッジの最右端を求め、その最右端の更に右側位置を前記処理行の左端エッジとする左端収縮処理部と、前記複数行にエッジ欠損がある場合は、前記処理行の右端エッジを消去し、それ以外の場合は、前記複数行について右端エッジの最左端を求め、その最左端の更に左側位置を前記処理行の右端エッジとする右端収縮処理部とを含み、前記雑音除去部は、これらの処理部によって両端エッジに膨張および収縮を施して、雑音除去を行うことを特徴とする画像特徴抽出装置。
IPC (4件):
G06T 7/60 250 ,  G06T 1/00 280 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 5/00 300
FI (4件):
G06T 7/60 250 Z ,  G06T 1/00 280 ,  G06T 1/00 305 C ,  G06T 5/00 300
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (8件)
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