特許

J-GLOBAL ID：201103058328157430

弾性表面波素子

発明者： 舩坂 司
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346936
公開番号（公開出願番号）：特開2002-152000
特許番号：特許第3864697号
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板と前記基板上に形成された第一薄膜と、前記第二薄膜に接するように形成されたくし歯電極とを備え、前記第一薄膜上に第二薄膜を設けた弾性表面波素子において、 回転角が28°回転Yカットから45°回転YカットからなるいわゆるSTカット水晶基板であり、弾性表面波の伝搬方向がX方向となるように前記第一薄膜に接するように形成された前記くし歯電極を備え、前記第一薄膜が酸化亜鉛(ZnO)、前記第二薄膜が酸化シリコン(SiO2)であり、レイリー波あるいはレイリー波の高次モードであるセザワ波(1次、2次、3次以上)を用いることを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ( 200 6.01) ,  H03H 9/25 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 9/25 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 弾性表面波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-127544   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開昭61-016610