樹脂パターンの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：正林真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-081828
公開番号（公開出願番号）：特開2011-215270
出願日： 2010年03月31日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：

【課題】破壊強度を良好に保ちながら、高さの異なる樹脂パターンを同時に製造する樹脂パターンの製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る樹脂パターンの製造方法は、アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)、及び特定の波長領域の光を吸収する光吸収剤(D)を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、上記感光性樹脂層を所望のパターンに応じて異なる露光量で露光する露光工程と、露光した上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程と、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)、及び特定の波長領域の光を吸収する光吸収剤(D)を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、前記感光性樹脂層を所望のパターンに応じて異なる露光量で露光する露光工程と、露光した前記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程と、を含む樹脂パターンの製造方法。

IPC (7件)：

G03F 7/004 , G03F 7/033 , G03F 7/20 , G02F 1/133 , C08F 2/44 , C08F 2/48 , C08F 220/00

FI (7件)：

G03F7/004 501 , G03F7/033 , G03F7/20 501 , G02F1/1339 500 , C08F2/44 Z , C08F2/48 , C08F220/00

Fターム (56件)：

2H097BB01 , 2H125AC36 , 2H125AC57 , 2H125AD06 , 2H125AE13P , 2H125AN19P , 2H125AN21P , 2H125AN29P , 2H125AN36P , 2H125AN39P , 2H125BA01P , 2H125BA09P , 2H125BA10P , 2H125BA22P , 2H125CA22 , 2H125CB06 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125CD23P , 2H125CD40 , 2H189DA07 , 2H189DA31 , 2H189EA06X , 2H189FA16 , 2H189FA82 , 2H189HA14 , 4J011AA05 , 4J011AC04 , 4J011PA25 , 4J011PA69 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA23 , 4J011RA10 , 4J011RA12 , 4J011RA14 , 4J011SA65 , 4J011TA08 , 4J011TA10 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J100AJ02P , 4J100AJ08P , 4J100AJ09P , 4J100AL08R , 4J100AL10Q , 4J100BC54R , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100DA39 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (3件)

画像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-162384 出願人：富士写真フイルム株式会社
保護膜用感光性熱硬化性組成物、カラーフィルタ、及び液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-027850 出願人：三菱化学株式会社
ネガ型レジスト
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-265441 出願人：積水化学工業株式会社

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