熱式空気流量センサおよびその形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：高田幸彦 , 竹ノ内勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260109
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071415
特許番号：特許第3577269号
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ダイアフラムを固定するダイアフラム固定端部を形成し、ダイアフラムに発熱抵抗体を設けて、電気抵抗値を用いて空気流量を測定する熱式空気流量センサにおいて、前記ダイアフラムを、前記発熱抵抗体に向って角度15度以内のテーパ状に薄くされ、前記ダイアフラム固定端部のダイアフラム固定部に一体化された可撓性支持部で可撓支持したことを特徴とする熱式空気流量センサ。

IPC (1件)：