特許
J-GLOBAL ID：201103059442097362

感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜及びその形成方法

発明者：
西 信弘

西 信弘 について

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米田 英司

米田 英司 について

, 
一戸 大吾

一戸 大吾 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-293697
公開番号（公開出願番号）：特開2011-133699
出願日： 2009年12月25日
公開日（公表日）： 2011年07月07日
要約：
【課題】低温かつ短時間での加熱・焼成が可能であると共に、高い放射線感度を有し、フレキシブルディスプレイの層間絶縁膜の形成に好適に用いられる感放射線性樹脂組成物を提供することである。また同時に、比誘電率、耐溶剤性、膜硬度、パターン形成時の解像度及び電気特性に優れたポジ型感放射線性樹脂組成物を提供することである。【解決手段】本発明は、[A]テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物とを反応させて得られるポリアミック酸およびこれを脱水閉環して得られるポリイミドよりなる群から選択される重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物、[C]分子内に少なくとも1つ以上のエポキシ基を有する化合物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
[A]テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物とを反応させて得られるポリアミック酸およびこれを脱水閉環して得られるポリイミドよりなる群から選択される重合体、 [B]1,2-キノンジアジド化合物、 [C]分子内に少なくとも1つ以上のエポキシ基を有する化合物 を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  G02B 1/04 ,  C08G 73/10
FI (5件)：
G03F7/023 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  G02B1/04 ,  C08G73/10
Fターム (59件)：
2H096BA10 ,  2H096HA01 ,  2H125AC35 ,  2H125AE06P ,  2H125AE13P ,  2H125AF04P ,  2H125AF05P ,  2H125AM73P ,  2H125AM74P ,  2H125AM77P ,  2H125AN31P ,  2H125AN35P ,  2H125AN84P ,  2H125BA02P ,  2H125BA05P ,  2H125BA33P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC03 ,  2H125CC21 ,  4J043PA02 ,  4J043QB26 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043TA22 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA042 ,  4J043UA051 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA141 ,  4J043UA232 ,  4J043UA251 ,  4J043UA361 ,  4J043UA381 ,  4J043UA391 ,  4J043UA591 ,  4J043UA761 ,  4J043UA771 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB131 ,  4J043UB141 ,  4J043UB151 ,  4J043UB161 ,  4J043UB171 ,  4J043UB221 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB401 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA17 ,  4J043ZA43 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB21 ,  4J043ZB47
引用特許：
審査官引用 (5件)
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