特許

J-GLOBAL ID：200903035091063429

ポジ型感光性樹脂組成物及びその硬化膜

発明者： 加藤 雅一 ,  江原 和也
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社
代理人 (8件)： 萼 経夫 ,  宮崎 嘉夫 ,  舘石 光雄 ,  中村 壽夫 ,  加藤 勉 ,  小野塚 薫 ,  ▲高▼ 昌宏 ,  村越 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-353486
公開番号（公開出願番号）：特開2007-156243
出願日： 2005年12月07日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】アルカリ現像液による現像の際に、パターン底部の現像残渣(パターンエッジ部の残渣)が無く、未露光部の膜減り及び膜の膨潤が少なく、コントラスト及びパターンの密着性に優れた塗膜を得ることができ、そしてその焼成後に、パターンの寸法安定性が高く、吸水率が低く、耐熱性、耐薬品性に優れた硬化膜を得ることができるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】ポジ型感光性樹脂組成物においてテトラカルボン酸及びその誘導体から選ばれる成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミド酸(A)、ヒドロキシスチレン化合物(B)及び光により酸を発生する化合物(C)を含有するものとする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

テトラカルボン酸及びその誘導体から選ばれる成分とジアミン成分とを反応させて得られる式(1)で表されるポリアミド酸(A)、式(2)で表されるヒドロキシスチレン化合物(B)、及び、光により酸を発生する化合物(C)を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  C08G 73/10

FI (6件)：

G03F7/023 ,  G03F7/038 504 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R ,  C08G73/10

Fターム (42件)：

2H025AA00 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CC17 ,  2H025FA01 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043PC145 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA05 ,  4J043SA06 ,  4J043SA54 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA47 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA15 ,  4J043ZA16 ,  4J043ZB22

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許第4880722号明細書
  
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-026196   出願人：信越化学工業株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物とそれを用いた大規模集積回路の製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-343595   出願人：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社