特許
J-GLOBAL ID:201103059803205777
薬液供給装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-031583
公開番号(公開出願番号):特開2000-229237
特許番号:特許第3381653号
出願日: 1999年02月09日
公開日(公表日): 2000年08月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 薬液貯槽と、薬液注入部を有する用水供給配管と、薬液貯槽内の薬液を該薬液注入部に供給する薬液供給配管とを備える薬液供給装置であって、該薬液供給配管には、定量ポンプ及び/又は定流量弁と、積算流量を検出する流量計と、該流量計の下流側に位置する開閉弁とが設けられていることを特徴とする薬液供給装置。
IPC (2件):
FI (4件):
B01J 4/02 B
, B01J 49/00 J
, B01J 49/00 P
, B01J 49/00 W
引用特許: