特許

J-GLOBAL ID：201103060517651865

センシング部を有する半導体装置

発明者： 鈴木 康利
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (4件)： 伊藤 高順 ,  加藤 大登 ,  永井 聡 ,  碓氷 裕彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340867
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153708
特許番号：特許第4356159号
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 それ自身の温度変化に基づく信号を出力するセンシング部(10)と、このセンシング部からの出力信号を処理する回路部(20)とを備える半導体装置において、 センシング媒体の存在する第1の空間とそれ以外の第2の空間とを仕切る仕切部材(30)を備え、 前記センシング部と前記回路部とは積層されて積層体を構成しており、この積層体は、前記第1の空間側に前記センシング部が位置し、前記第2の空間側に前記回路部が位置するように前記仕切部材に支持されており、 前記積層体における前記回路部は、前記仕切部材(30)の一部に形成された貫通穴である穴部(32)に対して穴部を塞ぐように取り付けられ、前記積層体におけるセンシング部は、前記穴部(32)に対して入り込むように取り付けられ、前記積層体は前記第1及び第2の空間を仕切る機能の一部として作用しており、 前記仕切部材(30)は、前記センシング部(10)及び前記回路部(20)と電気的に接続されたリードフレーム(31)を有するものであり、 前記センシング部(10)と前記回路部(20)とは互いの一面同士を背中合わせにして接着固定されていることを特徴とするセンシング部を有する半導体装置。

IPC (4件)：

G01F 1/69 ( 200 6.01) ,  G01J 1/42 ( 200 6.01) ,  G01J 5/12 ( 200 6.01) ,  G01P 5/12 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01F 1/68 103 A ,  G01J 1/42 B ,  G01J 5/12 ,  G01P 5/12 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

• フルイディック型ガス流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-219205   出願人：リコーエレメックス株式会社
• 流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-017323   出願人：山武ハネウエル株式会社
• フルイディック型ガス流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-161899   出願人：リコーエレメックス株式会社

審査官引用 (3件)

• 流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-017323   出願人：山武ハネウエル株式会社
• フルイディック型ガス流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-219205   出願人：リコーエレメックス株式会社
• フルイディック型ガス流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-161899   出願人：リコーエレメックス株式会社