特許

J-GLOBAL ID：201103060546731800

精密加工装置

発明者： 江田 弘 ,  中野 博民 ,  田島 琢二 ,  渡部 和
出願人/特許権者： 江田 弘 ,  中野 博民 ,  日立ビアメカニクス株式会社
代理人 (2件)： 田中 宏 ,  樋口 榮四郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-152833
公開番号（公開出願番号）：特開2001-328065
特許番号：特許第4530479号
出願日： 2000年05月24日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】微細送りプレートおよび姿勢制御プレートよりなる変位テーブルと、精密移動テーブルとを有し、前記変位テーブルあるいは前記精密移動テーブルのいずれか一方の上には砥石とその回転装置が載置され、他の一方にはワークとその回転装置が載置され、砥石軸とワーク軸とは水平方向に対抗するように配置されてなり、砥石とワークとの位置決めおよび微細送りを前記精密移動テーブルの移動と前記変位テーブルの変位とで行ない、砥石軸とワーク軸とのズレの補正を前記変位テーブルに具備された姿勢制御機構を作動させて行なうことを特徴とする精密加工装置において、姿勢制御プレートが、一つの辺の最外側中央部にある接合点を介して2枚の板材が上下に連結した構造をなし、該接合点を構成する材料が弾性変形をする材料であり、上方に位置する板材の前記接合点のある辺に直交する一つの辺の前記接合点から離れた側に超磁歪アクチュエータの先端ロッドが当接するように1台の超磁歪アクチュエータが配置され、更に前記接合点の反対側の辺の開口部に、超磁歪アクチュエータの先端ロッドが前記上方に位置する板材の下部に当接するように2台の超磁歪アクチュエータが配置されたものであり、前記微細送りプレートは、平行四辺形の厚板を加工したものであり、その四辺に貫通溝を刻し四隅にブリッジ状の支点を残し、その支点を介して中央の架台がそれを囲む枠体の内面に支持懸垂されており、架台の一端に切欠部を設け、その位置に1台の超磁歪アクチュエータを枠体の内面に固定して配置し、そのロッドの先端が架台の切欠部の端面に当接するように配置されていることを特徴とする精密加工装置。

IPC (4件)：

B24B 41/047 ( 200 6.01) ,  B24B 7/02 ( 200 6.01) ,  B24B 41/06 ( 200 6.01) ,  B24B 49/10 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B24B 41/047 ,  B24B 7/02 ,  B24B 41/06 L ,  B24B 49/10

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 工作機械および工具の姿勢制御システム並びに研削システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-121960   出願人：畑村洋太郎
• 精密平面加工機械
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-315259   出願人：茨城県
• 特開昭62-124842
  
• 特開平4-333108
  

審査官引用 (4件)

• 工作機械および工具の姿勢制御システム並びに研削システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-121960   出願人：畑村洋太郎
• 精密平面加工機械
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-315259   出願人：茨城県
• 特開昭62-124842
  
• 特開平4-333108