ステージ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小森久夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-055243
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242937
特許番号：特許第3540239号
出願日： 2000年03月01日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ベース上に固定されたガイドを介して直線状に移動するステージであって、前記移動方向に直交する方向に移動するウエハステージを搭載したステージと、ステージの前記移動方向に直交する方向における両端部のそれぞれに、前記ウエハステージの移動に伴うステージの重心位置を算出し、この算出されたステージの重心位置に応じた推力を供給する第1推力発生手段と、ステージの移動時に第1推力発生手段からベースに伝達される反力に相反する力をベースに作用させる第2推力発生手段と、を設けたことを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：