特許

J-GLOBAL ID：201103060914777077

表面波装置

発明者： 神藤 始 ,  門田 道雄
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▲崎▼主税
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-334296
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142984
特許番号：特許第4003434号
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 表面波としてレイリー波を利用している表面波装置であって、 オイラー角(φ、θ、ψ)において、φが-2.5°±5°、θが116°±5°及びψが+2.5°±5°の範囲にある水晶基板と、前記水晶基板上に形成された圧電薄膜と、前記圧電薄膜に接するように形成されたくし歯電極とを備え、前記圧電薄膜の膜厚をH、表面波の波長をλとしたときに、圧電薄膜の規格化膜厚H/λが0.20以上とされていることを特徴とする、表面波装置。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ( 200 6.01) ,  H03H 9/145 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-228781   出願人：株式会社村田製作所
• 表面弾性波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-177144   出願人：三菱マテリアル株式会社