表面波装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-228781
公開番号（公開出願番号）：特開平9-130192
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】水晶基板を用いて従来より電気機械結合係数が大きいSAW装置提供する。【解決手段】水晶基板10上にZnO薄膜12を形成し、ZnO薄膜12上にくし歯電極13a,13b,14a,14bを形成してなり、ZnO薄膜12の規格化膜厚H/λを0.05以上としたSAW装置。

請求項（抜粋）：

水晶基板と、前記水晶基板上に形成された圧電薄膜と、前記圧電薄膜上に形成されたくし歯電極とを備え、前記圧電薄膜の膜厚をH、表面波の波長をλとしたときに、圧電薄膜の規格化膜厚H/λが0.05以上とされていることを特徴とする、表面波装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

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