基板の汚染を抑制するための方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：名古屋国際特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-539813
公開番号（公開出願番号）：特表2011-507309
出願日： 2008年12月18日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：

ポリマーで形成される基板収納容器内で著しく乾燥した環境を維持するための、コンポーネント、システム、および方法は、基板収納容器の補助的な外部ガスパージを提供して、容器のポリマー壁を通した水分および酸素の浸透を最小にし、かつ、容器のポリマー壁に封じ込められた水の脱着を抑制する。

請求項（抜粋）：

ウェハを内部に有したウェハ収納容器に対し、保持及び二重パージを提供する格納装置であって、前記ウェハ収納容器は、ポリマー製隔壁を有するポリマーシェルを有し、該格納装置は、前記ウェハ収納容器を受容する開口を有し、前記ウェハ収納容器は、格納装置内で載置可能であり、該格納装置は、2つのパージシステムを有し、前記2つのパージシステムはそれぞれ、前記ウェハ収納容器が載置されると、前記ウェハ収納容器に異なる濃度または組成のパージガスを供給し、一方のパージシステムは、前記ウェハ収納容器の内部をパージするためのものであり、もう一方のパージシステムは、前記ウェハ収納容器の前記隔壁の外部表面にパージガスを誘導し、前記ウェハ収納容器の前記ポリマー製隔壁の乾燥が効果的に進行する、格納装置。

IPC (2件)：

H01L 21/673 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T , B65D85/38 R

Fターム (21件)：

3E096AA01 , 3E096BA16 , 3E096BB08 , 3E096CA01 , 3E096CB03 , 3E096CC02 , 3E096DA14 , 3E096DB07 , 3E096EA02X , 3E096FA02 , 3E096FA08 , 3E096GA01 , 3E096GA20 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031DA17 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031NA02 , 5F031NA04 , 5F031NA17

引用特許：

審査官引用 (4件)

二重シール容器構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-350991 出願人：株式会社荏原製作所
基板収納容器、基板搬送システム、保管装置及びガス置換方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-233960 出願人：株式会社半導体先端テクノロジーズ
基板搬送容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-047404 出願人：株式会社荏原製作所

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