汚染物質に敏感な物品のパッケージング装置およびこれより得られるパッケージ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-535884
公開番号（公開出願番号）：特表2002-505985
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：

【要約】封止された硬質なプラスチック製エンクロージャ(E)内に、半導体ウェハのように汚染物質に敏感な物品をパッケージングする装置およびパッケージであって、パッケージングする装置とパッケージであって、エンクロージャ(E)はフレキシブルな第2のプラスチックエンクロージャで囲包でき、封止された2重のプラスチックエンクロージャはそれぞれ、パージガス(49)源と真空源に接続される中空針(48)を貫通させ、かつ各エンクロージャ内部の水蒸気等の種々の汚染物質をパージおよび/または吸引排気し、かつ針の引抜き時は再封止してエンクロージャを事実上汚染物質のない封止状態に維持するように、自己密閉式部材(41)を備え、硬質エンクロージャは、相互に嵌合し複数のヒンジで柔軟に封止状態に維持され、かつパージ操作中は広がり分かれて汚染物質をパージガスに同伴させて内部からガス充填とともに逃がすことを可能にする1対の片割れ部分(11、12)を備え、封止されたバリヤ帯(61)は封止された硬質エンクロージャー側面に取外し可能なように取付けられる、装置およびパッケージ。

請求項（抜粋）：

汚染物質に敏感な物品を汚染物質のない環境で保管するパッケージであって、 1対の重合体物質製の片割れ部分であって、片割れ部分のそれぞれが底壁および側壁を有し、前記片割れ部分が、1個または複数の汚染物質に敏感な物品を収容する内部を有する閉止されたエンクロージャを形成するために、各片割れ部分が距離を開けた開放位置から、前記側壁が入れ子式にある停止位置への重なり滑動係合をするために係合し配置される、1対の重合体物質製の片割れ部分と、少なくとも1つの前記側壁と動作可能に連携して前記停止位置で前記エンクロージャ内部を封止する封止手段と、前記片割れ部分を前記封止手段に対する前記停止位置に柔軟に追い込んで前記エンクロージャ内部を封止する、前記片割れ部分上の弾力のあるクランプ締め付け手段と、前記封止されたエンクロージャ内部内にパージガスを導入し、前記クランプ締め付け手段に逆らって前記各片割れ部分を前記停止位置から外側に移動させ、これによって前記エンクロージャ内部内の過剰なガス圧力を軽減する、前記エンクロージャ上の手段とを組み合わせて備えるパッケージ。

IPC (5件)：

B65D 81/20 , B65D 85/86 , B65G 65/04 , B65G 65/34 , H01L 21/68

FI (5件)：

B65D 81/20 E , B65G 65/04 , B65G 65/34 , H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

Fターム (32件)：

3E067AA12 , 3E067AB41 , 3E067AC01 , 3E067BA01B , 3E067BA12C , 3E067BB14B , 3E067BB14C , 3E067BC03B , 3E067BC04C , 3E067CA04 , 3E067FA04 , 3E067FC01 , 3E067GA19 , 3E067GB05 , 3E096AA01 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA03 , 3E096CB02 , 3E096EA02X , 3E096FA03 , 3E096FA40 , 3E096GA04 , 3F075AA05 , 3F075BA02 , 3F075BB01 , 3F075DA24 , 5F031CA02 , 5F031DA12 , 5F031EA01 , 5F031EA12 , 5F031EA14

引用特許：

出願人引用 (3件)

ケース
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-234437 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
ウェハ容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-307766 出願人：株式会社荏原製作所
半導体製造用品の運搬方法および運搬用具
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-292536 出願人：富士通株式会社

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