特許
J-GLOBAL ID：201103061524735671
ガラスチャンバを減圧する方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 修一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-582670
特許番号：特許第3883809号
出願日： 1999年11月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 減圧ポートを備えるガラス壁によって少なくとも部分的に包囲されたチャンバを減圧する方法であって、
(a)前記ポートと、前記ガラス壁のうちポート周囲の部分とを、(i)前記ポートに連通する第1キャビティと、(ii)この第1キャビティの周囲に位置し、前記ガラス壁のうちポート周囲の部分によって閉じられた少なくとも一つの第2キャビティと、を有する減圧ヘッドによってカバーする工程、
(b)前記減圧ヘッドの、単数の前記閉じられた第2キャビティ、又はこれが複数設けられる場合にはそのそれぞれを減圧する工程、及び
(c)前記減圧ヘッドの前記第1キャビティを介して前記チャンバを減圧する工程、
を有することを特徴とする方法。
IPC (4件)：
B01J 3/02 ( 200 6.01)
, H01J 9/385 ( 200 6.01)
, E06B 3/66 ( 200 6.01)
, C03C 27/06 ( 200 6.01)
B01J 3/02 M
, H01J 9/385 A
, E06B 3/66
, C03C 27/06 101 A
