特許
J-GLOBAL ID：201103061729480412
光カチオン硬化型ドライフィルムレジスト及びその硬化物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-016757
公開番号（公開出願番号）：特開2001-209178
特許番号：特許第4093335号
出願日： 2000年01月26日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】樹脂組成物が支持フィルムと保護フィルムでサンドイッチされた構造からなるドライフィルムレジストにおいて、該樹脂組成物が、式(1)
(式中、R1、R2、R3、R4は、それぞれ水素原子、C1〜C4のアルキル基又はハロゲン原子を示し、Xはそれぞれ置換基を有していても良いメチレン基、スルホニル基またはカルボニル基を示し、nは平均値で1〜10の数を表す。)
で表される化合物のアルコール性水酸基におけるグリシジル化物であってエポキシ当量が200〜400g/当量であるエポキシ樹脂(a)とモノカルボン酸(b)との付加生成物と二塩基酸無水物(c)との反応生成物であるポリカルボン酸樹脂(A)、光カチオン重合開始剤(B)及び硬化成分(C)を必須成分とする樹脂組成物であることを特徴とする光カチオン硬化型ドライフィルムレジスト。
IPC (3件)：
G03F 7/038 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, H05K 3/28 ( 200 6.01)
G03F 7/038 503
, G03F 7/004 512
, H05K 3/28 D
, H05K 3/28 F
