特許

J-GLOBAL ID：201103061842462005

光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器

発明者： 松下 友紀
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 井上 一 ,  竹腰 昇 ,  黒田 泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-059546
公開番号（公開出願番号）：特開2011-191661
出願日： 2010年03月16日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：

【課題】より高い精度で反射膜間のギャップ制御が可能な光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器を提供すること。【解決手段】 光フィルター10は、第1基板20と、第2基板30と、第1反射膜40と、第2反射膜50と、第1電極62と、第2電極64と、第3電極72と、第4電極74と、電位差制御部と、を有する。第1電極62と前記第3電極72とは第1距離G1を隔てて対向し、第2電極64と前記第4電極74とは前記第1距離G1と異なる第2距離G2を隔てて対向している。電位差制御部は、第1電極62と第3電極72との間に電位差を生じさせることによって第1電極62と第3電極72とを当接させ、第2電極64と第4電極74との間に電位差を生じさせることによって第2電極64と前記第4電極74とを当接させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1基板と、 前記第1基板と対向する第2基板と、 前記第1基板に設けられた第1反射膜と、 前記第2基板に設けられ、前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、 前記第1基板に設けられ、且つ、平面視において前記第1反射膜の周囲に設けられた第1電極と、 前記第1基板に設けられ、且つ、平面視において前記第1電極と前記第1反射膜との間に設けられた第2電極と、 前記第2基板に設けられ、前記第1電極と対向する第3電極と、 前記第2基板に設けられ、前記第2電極と対向する第4電極と、 前記第1電極と前記第3電極との電位差と、前記第2電極と前記第3電極との電位差とを制御する電位差制御部と、 を有し、 前記第1電極と前記第3電極とは、第1距離を隔てて対向し、 前記第2電極と前記第4電極とは、前記第1距離と異なる第2距離を隔てて対向し、 前記電位差制御部は、前記第1電極と前記第3電極との間に電位差を生じさせることによって前記第1電極と前記第3電極とを当接させ、前記第2電極と前記第4電極との間に電位差を生じさせることによって前記第2電極と前記第4電極とを当接させることを特徴とする光フィルター。

IPC (2件)：

G02B 26/00 ,  G01J 3/26

FI (2件)：

G02B26/00 ,  G01J3/26

Fターム (31件)：

2G020AA08 ,  2G020CA12 ,  2G020CC23 ,  2G020CC26 ,  2G020CC31 ,  2G020CD16 ,  2G020CD22 ,  2G020DA05 ,  2G020DA12 ,  2G020DA42 ,  2H141MA22 ,  2H141MA28 ,  2H141MB26 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141MD34 ,  2H141MD38 ,  2H141ME01 ,  2H141ME04 ,  2H141ME06 ,  2H141ME24 ,  2H141ME25 ,  2H141MF05 ,  2H141MG01 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ11 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特許第7265477号
  
• 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-277016   出願人：セイコーエプソン株式会社