特許
J-GLOBAL ID：200903084754229335

光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

発明者：
中村 亮介

中村 亮介 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-277016
公開番号（公開出願番号）：特開2007-219483
出願日： 2006年10月10日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
要約：
【課題】駆動電圧を低減しつつ、広いレンジでの波長の光に対して使用可能な光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。【解決手段】本発明の光学デバイス1は、駆動電極と可動部21との間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21の位置および/または姿勢を変化させ、固定反射膜35と可動反射膜25との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、これらの間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されているものであって、駆動電極は、可動部21の固定反射膜35側の面に対し間隔を隔てて対向する第1の駆動電極33と、可動部21の可動反射膜25と反対側の面に対し間隔を隔てて対向する第2の駆動電極43とを有する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1の光反射部を有する固定部と、 前記第1の光反射部に対し間隔を隔てて対向する第2の光反射部を有し、前記第1の光反射部と前記第2の光反射部との間の距離を変更するように前記固定部に対し変位可能な可動部と、 前記可動部に対し間隔を隔てて対向する駆動電極とを備え、 前記駆動電極と前記可動部との間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、前記可動部の位置および/または姿勢を変化させ、 前記第1の光反射部と前記第2の光反射部との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、これらの間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている光学デバイスであって、 前記駆動電極は、前記可動部の前記第1の光反射部側の面に対し間隔を隔てて対向する第1の駆動電極と、前記可動部の前記第1の光反射部と反対側の面に対し間隔を隔てて対向する第2の駆動電極とを有することを特徴とする光学デバイス。
IPC (3件)：
G02B 26/02 ,  G02B 5/28 ,  B81B 3/00
FI (3件)：
G02B26/02 E ,  G02B5/28 ,  B81B3/00
Fターム (9件)：
2H041AA02 ,  2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA25 ,  2H048GA48 ,  2H048GA62
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第6747775号明細書
審査官引用 (4件)
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