特許

J-GLOBAL ID：201103062227111177

シート供給装置および供給方法、並びにシート貼付装置および貼付方法

発明者： 杉下 芳昭
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-158834
公開番号（公開出願番号）：特開2011-011890
出願日： 2009年07月03日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：

【課題】接着シートを剥離シートから確実に剥離して供給できるシート供給装置および供給方法、並びに接着シートを短時間で効率よく被着体に貼付できるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート供給装置3で接着シートとしてのマウント用シートMSを剥離して供給する際に、ピールプレート71を振動体72で振動させつつ、繰り出された原反Rのうち剥離シートRLをピールプレート71で転向搬送することで、剥離シートRLからマウント用シートMSを剥離して供給する。また、シート貼付装置1は、このようにしてシート供給装置3で剥離されたマウント用シートMSを、押圧ローラ4でウェハWに押圧して貼付する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

接着シートを供給するシート供給装置であって、 剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、 前記繰出手段により繰り出された前記原反の前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、 前記剥離手段は、 前記原反のうち前記剥離シートを転向搬送することで前記接着シートを剥離する剥離用部材と、 前記剥離用部材を所定の周波数で振動させる加振手段とを備えていることを特徴とするシート供給装置。

IPC (5件)：

B65H 41/00 ,  B65C 9/42 ,  B65C 9/26 ,  B65H 37/04 ,  H01L 21/683

FI (5件)：

B65H41/00 C ,  B65C9/42 ,  B65C9/26 ,  B65H37/04 A ,  H01L21/68 N

Fターム (23件)：

3E095AA01 ,  3E095BA03 ,  3E095CA01 ,  3E095DA03 ,  3E095DA15 ,  3E095DA22 ,  3E095DA42 ,  3E095DA48 ,  3E095DA90 ,  3E095FA08 ,  3F108GA09 ,  3F108GB01 ,  3F108HA02 ,  3F108HA12 ,  3F108JA03 ,  5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031EA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38 ,  5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プラスチックフィルムラミネート紙の分離方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-351255   出願人：イリエトレーディングコーポレーション株式会社
• シート貼付装置及びシート貼付方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-176079   出願人：リンテック株式会社
• 特開平2-230754