圧電素子及びその製造方法並びにそれを用いたインクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外10名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-107884
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299510
特許番号：特許第3202006号
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】共通電極と、前記共通電極上に、鉛(Pb)、ジルコニウム(Zr)、チタン(Ti)を主成分とし、かつジルコニウムの組成が異なるいくつかの層からなる多層構造、もしくはジルコニウムの組成が連続して変化する傾斜組成構造のペロブスカイト型誘電体薄膜の圧電体と、さらに前記圧電体上に積層した個別電極とを有し、前記圧電体のPbと、Zr及びTiとの組成比:Pb/(Zr+Ti)が1より大きくかつ1.3以下であることを特徴とする圧電素子。

IPC (6件)：