有機化合物用蒸発装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉川勝郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-137917
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234163
特許番号：特許第3095740号
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空槽内に、るつぼの周囲にヒーターを取付けた蒸発源を設け、ここから原料有機物を蒸発させて、真空槽内の上部に設けた基板表面に有機薄膜を形成する有機化合物用蒸発装置において、前記ヒーターを取付けたるつぼを、内面にセラミックをコートした熱遮蔽箱に収納し、この熱遮蔽箱の上部に取付けた上蓋部に、孔径がるつぼの内径より小さい蒸気噴出孔を開孔し、且つこの蒸気噴出孔の孔径が、その底面部から上面部に向かって順次小さく形成されていることを特徴とする有機化合物用蒸発装置。

IPC (1件)：