特許
J-GLOBAL ID：201103062780021550
誤差補正値作成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
安形 雄三
, 村山 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-271851
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091237
特許番号：特許第3638827号
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被測定検出器及び基準検出器を結合し、前記被測定検出器の位置検出値と前記基準検出器の位置検出値との差により誤差を測定し、補正値を作成する誤差補正値作成装置において、前記被測定検出器の基本ピッチと異なる基本ピッチを持つ基準検出器と、前記測定した誤差を記憶する記憶手段と、前記記憶手段の値より前記基準検出器の固有誤差を求める演算器と、前記記憶手段の値から前記演算器の結果を減算する減算器とを具備し、前記減算器の結果より前記補正値を作成するようにしたことを特徴とする誤差補正値作成装置。
IPC (5件)：
G01D 5/244
, G01B 21/00
, G01D 5/245
, G05D 3/12
, G05B 11/36
G01D 5/244 A
, G01B 21/00 G
, G01D 5/245 201 L
, G05D 3/12 T
, G05D 3/12 W
, G05B 11/36 D
