特許

J-GLOBAL ID：201103062900520440

蒸着コーティング装置用バレル

発明者： 石川 正治 ,  山田 勝信 ,  中山 俊一
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 安藤 淳二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-021091
公開番号（公開出願番号）：特開2001-214260
特許番号：特許第4061804号
出願日： 2000年01月31日
公開日（公表日）： 2001年08月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被コーティング部品を収納する筒体とこの筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーティング部品の表面に、コーティング皮膜形成用の原料物質を蒸着させると共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレルに備える筒体の胴部の筒壁を、コーティング皮膜形成用の原料物質を重合させる温度に耐える樹脂材料製の網又は織布で形成するとともに、前記のバレルに備える筒体が、その筒体の骨格を形成する支柱を備えていて、且つこの支柱で前記の樹脂材料製の網又は織布を支持していることを特徴とする蒸着コーティング装置用バレル。

IPC (2件)：

C23C 14/50 ( 200 6.01) ,  C23C 14/24 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C23C 14/50 F ,  C23C 14/24 T

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 蒸着膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-150202   出願人：松下電工株式会社
• クランプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-229884   出願人：日産車体株式会社
• 特開平3-056666
  

審査官引用 (3件)

• 蒸着膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-150202   出願人：松下電工株式会社
• クランプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-229884   出願人：日産車体株式会社
• 特開平3-056666