油拡散ポンプの運転方法及び油拡散ポンプの制御装置並びに真空排気装置とその制御方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：岡▲崎▼ 信太郎 , 新井全
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-294701
公開番号（公開出願番号）：特開2003-097500
特許番号：特許第3978765号
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空チャンバーに接続されて、チャンバー内を真空引きする油拡散ポンプの運転方法において、前記油拡散ポンプを作動させた場合の作動油の油温に対応して、前記チャンバー内の到達圧力値及び当該到達圧力値に到達するための運転時間に関するデータを、対応する複数の油温についての複数のデータとして予め求めておき、目標とする真空度と到達時間条件に対応して、前記複数のデータから適合するデータを求めて、当該適合するデータに対応する作動油温度で運転するようにしたことを特徴とする、油拡散ポンプの運転方法。

IPC (1件)：