特許
J-GLOBAL ID：201103063071256362
光起電力装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥居 洋
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-070104
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270874
特許番号：特許第4183394号
出願日： 2001年03月13日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ガラス基板上に形成された透明導電膜上に、p層、i層及びn層を有する薄膜半導体層を形成する工程と、
前記薄膜半導体層上にZnOからなる裏面側透明導電膜を形成する工程と、
前記裏面側透明導電膜の表面を所定濃度の塩酸または酢酸溶液に浸すとともにその表面に選択的に紫外線を照射することにより、前記裏面側透明導電膜表面と接触する塩酸または酢酸溶液における当該透明導電膜のエッチングレートを紫外線の照射強度によって選択的に制御し、前記裏面側透明導電膜表面に凹凸を形成する工程と、
前記凹凸が形成された前記裏面側透明導電膜表面上に、裏面金属を形成する工程と、を備える光起電力装置の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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