特許
J-GLOBAL ID：201103063177181590
ダイシング用粘着シート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-400681
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203816
特許番号：特許第4623694号
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基材フィルム上に下塗り層を介して粘着剤層が設けられたダイシング用粘着シートにおいて、
前記下塗り層は、ポリ塩化ビニルからなるものではなく、
前記下塗り層は、ダイシングの際の変形量が前記基材フィルム及び粘着剤層よりも少なく、かつ、20°Cにおける引張破断伸度が100%以上200%以下であり、
前記下塗り層の20°Cにおける貯蔵弾性率が2×108Pa以上5×109Pa以下であり、
前記下塗り層の厚みが5μm以上20μm以下であることを特徴とするダイシング用粘着シート。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01)
, C09J 7/02 ( 200 6.01)
H01L 21/78 M
, C09J 7/02 Z
