特許
J-GLOBAL ID：201103063216711020
パターン寸法検査方法及び画像認識補助パターン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 繁雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-142657
公開番号（公開出願番号）：特開2001-325586
特許番号：特許第4023983号
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 寸法検査装置により基板上の寸法検査パターンの位置を読み取った後、その寸法検査パターンの寸法を測定して加工精度を検査するパターン寸法検査方法において、
寸法検査パターンの位置を次のステップを含む画像認識方法により読み取ることを特徴とするパターン寸法検査方法。
(A)前記基板上には寸法検査パターンの検査部分を挟んでその両側に画像認識補助パターンを配置すること。
(B)寸法検査装置に寸法検査パターン及び画像認識補助パターンを含む画像認識エリアを設定し、画像認識エリアの面積に対してその中に含まれる寸法検査パターンと画像認識補助パターンの合計面積が30%から70%を占めていること。
(C)画像認識エリア内の寸法検査パターンと画像認識補助パターンに基づいて寸法検査装置で画像認識により寸法検査パターンの位置を読み取ること。
IPC (4件)：
G06T 1/00 ( 200 6.01)
, G01B 11/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G03F 1/08 ( 200 6.01)
G06T 1/00 305 D
, G01B 11/02 H
, H01L 21/66 J
, G03F 1/08 N
