特許

J-GLOBAL ID：201103063284292583

マイクロ電極

発明者： 寺田 知之 ,  野田 秀男 ,  坪井 敏宏 ,  田辺 慎一 ,  国本 幸紀 ,  森本 忠雄 ,  堀内 光明 ,  砂川 賢二 ,  佐藤 隆幸
出願人/特許権者： 株式会社ルネサステクノロジ ,  株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047514
公開番号（公開出願番号）：特開2000-237155
特許番号：特許第3660823号
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 複数の配線層を有し、生体に埋め込んで使用するマイクロ電極であって、前記マイクロ電極の一部には、前記配線層の近傍に位置し、外部電極としてのパッドを備えた不具合検出用配線層を有することを特徴とするマイクロ電極。

IPC (4件)：

A61B 5/0408 ,  A61B 5/0478 ,  A61B 5/0492 ,  H01L 21/3205

FI (3件)：

A61B 5/04 300 J ,  A61B 5/04 300 E ,  H01L 21/88 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 導電パターンの検査方法と基板および液晶パネルの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-148764   出願人：ソニー株式会社
• 特開平2-051245
  
• 特開平2-051245