特許
J-GLOBAL ID：201103063949178205

水溶性樹脂組成物

発明者：
神田 崇

神田 崇 について

, 
田中 初幸

田中 初幸 について


出願人/特許権者：
AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社

AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社 について


代理人 (2件)： 鐘尾 宏紀 ,  野口 武男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182778
公開番号（公開出願番号）：特開2001-019860
特許番号：特許第3950584号
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】水溶性樹脂、水溶性架橋剤、界面活性剤および溶剤を含み、レジストパターン中の酸の存在により架橋反応を生じレジストパターンに被覆層を作る微細化されたレジストパターン形成用水溶性樹脂組成物において、前記界面活性剤がアセチレンアルコール類、アセチレングリコール類、アセチレンアルコール類のポリエトキシレートおよびアセチレングリコール類のポリエトキシレートから選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする微細化されたレジストパターン形成用水溶性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/11 ( 200 6.01) ,  C08L 101/14 ( 200 6.01) ,  C08K 5/05 ( 200 6.01) ,  C08K 5/06 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G03F 7/11 501 ,  C08L 101/14 ,  C08K 5/05 ,  C08K 5/06
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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