特許
J-GLOBAL ID：201103064081014274
透明パネル検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
石田 敬
, 土屋 繁
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-017932
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208701
特許番号：特許第4010726号
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査体である透明パネルに検査光を照射し、前記透明パネルの面に平行に設けられるリング状拡散照明具と、
前記透明パネルに対して前記リング状拡散照明具とは反対側に設けられ、前記透明パネルを透過した前記検査光を反射させて前記透明パネルに照射する反射鏡と、
前記リング状拡散照明具に対して前記透明パネルとは反対側に設けられ、前記透明パネル上で散乱した光及び、前記反射鏡で反射されたあと前記透明パネルに照射され散乱した光のうち、光軸にほぼ平行な光のみを透過させるレンズと、
前記レンズに対して前記リング状拡散照明具とは反対側に設けられ、前記レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、
を備えることを特徴とする透明パネル検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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