特許
J-GLOBAL ID：201103064221620005

スタンパの製造方法

発明者：
竹森 浩俊

竹森 浩俊 について

, 
松原 和徳

松原 和徳 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (2件)： 青山 葆 ,  山崎 宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-261691
公開番号（公開出願番号）：特開2003-066234
特許番号：特許第3859473号
出願日： 2001年08月30日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 フォトポリマー法に用いるスタンパを製造するスタンパの製造方法であって、 ガラス基板上に所定形状のレジストを形成する工程と、 上記レジストをマスクとして用いて、反応性イオンエッチングを行うことにより、上記ガラス基板の表面に微細パターンを形成する工程と を備え、 上記反応性イオンエッチングは、 上記ガラス基板の表面に第1の深さの溝を形成する第1のエッチングと、 この第1のエッチングの後に行われ、上記第1のエッチングの選択比よりも選択比が大きくて、上記第1の深さの溝をさらに深くして第2の深さの溝を形成する第2のエッチングと で行うことを特徴とするスタンパの製造方法。
IPC (7件)：
G02B 5/32 ( 200 6.01) ,  B29C 33/38 ( 200 6.01) ,  G03H 1/20 ( 200 6.01) ,  G11B 7/135 ( 200 6.01) ,  G11B 7/22 ( 200 6.01) ,  B29L 11/00 ( 200 6.01) ,  B29L 17/00 ( 200 6.01)
FI (7件)：
G02B 5/32 ,  B29C 33/38 ,  G03H 1/20 ,  G11B 7/135 A ,  G11B 7/22 ,  B29L 11:00 ,  B29L 17:00
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (8件)
  • 特開平2-137803
  • 情報記録媒体の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-162537   出願人：日本電気株式会社
  • 情報記録基板の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-105719   出願人：日本ビクター株式会社
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