特許
J-GLOBAL ID：201103064330260540
基板受け渡し機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
工藤 実
, 中尾 圭策
, 鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 風間 鉄也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-356276
公開番号（公開出願番号）：特開2003-155119
特許番号：特許第3854496号
出願日： 2001年11月21日
公開日（公表日）： 2003年05月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 搬送台車と他の部材との間で基板を受け渡しするための基板受け渡し機構であって、
前記搬送台車上で基板を斜めに支持する複数の支柱と、
前記支柱にそれぞれ設けられ、基板の上辺の辺縁部が差し込まれる下向き凹面支持爪と、
基板を下側から持ち上げるように支持する複数の上向き凹面支持爪と、
前記搬送台車が走行する搬送路の下方に設けられ、前記搬送台車の下方から上方へ突き上げられる第1の突き上げロッドを有する開駆動機構と、
前記搬送台車が走行する搬送路の下方に設けられ、前記搬送台車の下方から上方へ突き上げられる第2の突き上げロッドを有する閉駆動機構と、
前記支柱にそれぞれ設けられ、前記凹面部が上側となる姿勢を保った状態で変位するように前記上向き凹面支持爪を可動に支持するリンク機構と、
前記搬送台車に取り付けられ、前記開駆動機構の第1の突き上げロッドを突き上げることにより生じる開駆動力を前記リンク機構に伝達するとともに、前記閉駆動機構の第2の突き上げロッドを突き上げることにより生じる閉駆動力を前記リンク機構に伝達する開閉駆動力伝達軸と、を具備し、
前記開駆動機構が前記第1の突き上げロッドを突き上げ操作すると、前記凹面部が上側となる姿勢を保った状態で前記上向き凹面支持爪が強制的に引き下げられ、前記凹面部が基板の下辺の辺縁部から離脱し、
前記閉駆動機構が前記第2の突き上げロッドを突き上げ操作すると、前記凹面部が上側となる姿勢を保った状態で前記上向き凹面支持爪が強制的に引き上げられ、前記凹面部が基板の下辺の辺縁部に当接することを特徴とする基板受け渡し機構。
IPC (2件)：
B65G 49/06 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
B65G 49/06 A
, H01L 21/68 A
