特許
J-GLOBAL ID：201103065039797265
倣い装置及び倣い装置における倣い状態保持方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-165423
公開番号（公開出願番号）：特開2002-359263
特許番号：特許第4081247号
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 互いに対峙して設けられる倣い部材及びそれを支持する装置基台のうちいずれか一方に凹状半球面を設けるとともに、他方に前記凹状半球面に係合する凸状半球面を設け、前記倣い部材を半球面に沿って回動させながら対象物に当接させ、その当接面を対象物の特定面に対し平行となるように倣わせる倣い装置において、
前記倣い部材と係合する保持部材と、
前記保持部材と係合するとともに、該保持部材を介して前記倣い部材を前記装置基台方向へ押圧するアクチュエータとを備え、
前記アクチュエータは、前記装置基台に倣い部材を押し付けて回動不能にロックするロック位置、及び押し付けずにロック解除するロック解除位置をとり得るものであって、
前記保持部材は、前記倣い部材と前記アクチュエータとのうちいずれか一方の部材と球面軸受けを介して係合するとともに、
前記アクチュエータがロック解除位置からロック位置に移動するとき、前記球面軸受けは、該球面軸受けと係合する前記保持部材、前記倣い部材又は前記アクチュエータの係合面の傾きに合わせて前記球面軸受けの係合面が平行となるように傾動しつつ、前記保持部材、前記倣い部材又は前記アクチュエータに当接して係合することを特徴とする倣い装置。
IPC (2件)：
G12B 5/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/60 ( 200 6.01)
G12B 5/00 A
, H01L 21/60 311 T
