特許
J-GLOBAL ID：201103065339299240
プローブカード
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169269
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356652
特許番号：特許第3309964号
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、この基板に接続される複数のプローブと、前記基板の下面に接着剤で取り付けられるプローブ支持部材とを具備しており、前記プローブ支持部材は、前記基板の下面に取り付けられる上面に、長手方向の一端から他端まで凹部を有しており、前記接着剤はプローブ支持部材の上面の凹部以外の部分の一部にのみ塗布されていることを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
