透明な基板上の構造の測定装置及び測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：加藤朝道 , 内田潔人 , 三宅俊男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-547426
特許番号：特許第4130531号
出願日： 1999年04月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】透明な基板(8)上の構造(9)の座標を測定するための測定装置であって、投下光-照明装置(10、13)、結像装置(10)及び結像される構造(9)のための検出装置(14)、及び該結像装置(10)の光軸(11)に対し垂直かつ相対的に、干渉計で測定可能に摺動可能な、前記基板(8)を受容するための測定テーブル(4)を有する形式の装置において、前記測定テーブル(4)は、前記基板(8)の受容縁を有する開口フレームとして構成されており、及び該測定テーブル(4)の下方には、透過光-照明装置(15、16)が配置されており、該透過光-照明装置(15、16)の光軸は、前記投下光-照明装置(10、13)の光軸と同一直線上にある、ことを特徴とする測定装置。

IPC (3件)：