紫外線照射装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-103263
公開番号（公開出願番号）：特開2001-290000
特許番号：特許第4311857号
出願日： 2000年04月05日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】マウントフレーム上の半導体ウエハを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、前記マウントフレームと同じ長さを有するランプを納めたランプハウスから粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、前前記紫外線照射手段を長手方向の回転軸回り首振り駆動する駆動機構と、紫外線の照射領域の照度変化に応じて、照射領域全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように、紫外線照射手段の首振り速度をコントロールする速度制御手段とを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (3件)：