特許

J-GLOBAL ID：201103066107155664

CCD試験装置システム

発明者： 亀山 雅志 ,  吉田 健嗣
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-044148
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243803
特許番号：特許第3814437号
出願日： 1999年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被試験デバイスであるCCDを搭載したテストヘッドのDUTボードにてCCDの出力端子から転送される蓄積電荷のアナログ信号を直列的に取り出し、CCD試験装置本体のサンプル・ホールド回路へ伝送し、電荷量をデジタル的に計測し試験するCCD試験装置システムにおいて、 テストヘッドに搭載されたCCDの出力端子とCCDの接地端子との電位を対として取り出す1対のバッファアンプを備えたDUTボードと、 上記1対のバッファアンプの出力電位をDUTボードからCCD試験装置本体に伝送する1対のシールド線と、 上記1対のシールド線の出力を受信するCCD試験装置本体の差動増幅器と、 を具備することを特徴とするCCD試験装置システム。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01R 31/26 ( 200 6.01) ,  H01L 27/14 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/66 Z ,  G01R 31/26 E ,  H01L 27/14 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• CCD試験装置用タイミング校正治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-259837   出願人：株式会社アドバンテスト