弾性表面波装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-505752
特許番号：特許第4057907号
出願日： 2001年06月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧電基板の上に金属膜を成膜し、当該金属膜を選択的に除去して櫛歯型の金属電極を形成する弾性表面波装置の製造方法であって、前記圧電基板の上に前記金属膜を成膜する工程は、成膜速度のウェハ面内分布が異なる2以上の成膜モードを周期的に繰り返して成膜する第1の工程と、一定の成膜モードで成膜する第2の工程とを含むことを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。

IPC (2件)：