半導体製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 緒方雅昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-003184
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196389
特許番号：特許第4411565号
出願日： 2000年01月12日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】トレーの上面に設けた収容窪みに半導体装置を載置収容する手段と、前記半導体装置が収容されたトレーにおいて前記収容窪みから半導体装置が突出しているか否かを検出する収容良否判定機構と、前記半導体装置を収容したトレーの上面側に他のトレーを重ねる手段とを有する半導体製造装置であって、前記収容良否判定機構は前記トレーの少なくとも1列全ての収容窪みの内外に亘ってそれぞれ対面し、前記収容窪みに収容されている半導体装置の上面の高さが前記収容窪みの縁の高さとの間で設定以内であるか否かを判定できるセンサを有し、前記センサでトレー全ての収容窪みに収容されている半導体装置の収容状態の良否を判定する構成になっていることを特徴とする半導体製造装置。

IPC (1件)：

H01L 21/50 ( 200 6.01)

FI (1件)：

H01L 21/50 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-115544
特開平3-044053
特開昭58-220441

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