特許
J-GLOBAL ID:201103066698767850
切削装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
佐々木 功
, 川村 恭子
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-257665
公開番号(公開出願番号):特開2002-066869
特許番号:特許第4647068号
出願日: 2000年08月28日
公開日(公表日): 2002年03月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら回転ブレードによって切削を遂行する切削手段と、該チャックテーブルを切削方向に往復移動させる送り手段と、一端部が該チャックテーブルを支持する支持基台に固定されると共に他端部が装置の固定壁に固定されて切削方向に伸縮自在に配設されたジャバラ布と、該ジャバラ布が受け止めた切削水を排水するウォーターケースとを少なくとも備えた切削装置であって、
該ジャバラ布の上部は保護シートによって覆われ、該ジャバラ布の伸縮に伴って該保護シートを巻き取りまたは送り出す保護シート巻き取り及び送り出し手段が配設されている切削装置。
IPC (2件):
B23Q 11/08 ( 200 6.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (2件):
B23Q 11/08 B
, H01L 21/78 F
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
泡排出手段を有する切削装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-321773
出願人:株式会社ディスコ
-
特開平4-283041
審査官引用 (2件)
-
泡排出手段を有する切削装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-321773
出願人:株式会社ディスコ
-
特開平4-283041
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