研磨用ワーク保持盤およびワークの研磨装置ならびにワークの研磨方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-033762
公開番号（公開出願番号）：特開2000-233366
特許番号：特許第3623122号
出願日： 1999年02月12日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ワークを真空吸着保持する多数の貫通孔を有するワーク保持盤本体および該保持盤本体の背面に密着し、真空用溝を有する保持盤裏板からなる研磨用ワーク保持盤において、該保持盤裏板の材質が合成樹脂であり、かつアスカーC硬度が70以上98未満であることを特徴とする研磨用ワーク保持盤。

IPC (2件)：