特許

J-GLOBAL ID：201103067078680963

厚さ/成分計測方法及び装置

発明者： 宮崎 俊一 ,  柳川 美和 ,  岸 卓人
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-327708
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130615
特許番号：特許第3797476号
出願日： 2001年10月25日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 白色光を反射体上に形成された薄膜に照射し、 前記反射体と薄膜からの反射光を分光し、 該分光した光のうちの近赤外分光スペクトルを検出し、 該近赤外分光スペクトルをフーリエ変換して薄膜の膜厚を計測すると共に、 前記近赤外スペクトルから干渉成分を除去したスペクトルを作成し、 作成されたスペクトルに対して逆フーリエ変換を行い回帰モデルを用いて薄膜の成分値を計測することを特徴とする厚さ/成分計測方法。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ( 200 6.01) ,  G01N 21/35 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 11/06 Z ,  G01N 21/35 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-191606
  
• FT-IRを用いた膜厚測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-283483   出願人：日本電子株式会社