特許
J-GLOBAL ID:201103067106264873
液だれ防止方法およびシステム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
千葉 剛宏 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-240557
公開番号(公開出願番号):特開2000-161514
特許番号:特許第3493322号
出願日: 1999年08月26日
公開日(公表日): 2000年06月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】流体供給源から供給された流体の流通を遮断した際、流出口から前記流体の液だれが発生することを防止するための方法であって、電動アクチュエータの駆動作用下に、開閉弁の閉弁指示時から予め設定された流出口より流出される流体の流線がくびれた状態となる急速弁閉動作位置に到達するまでの時間に対する弁体のリフト量を制御する工程と、前記急速弁閉動作位置に到達した後、そのリフト量を制御することがなく前記開閉弁の弁体を閉止位置に変位させる工程と、を有し、前記開閉弁の閉弁指示時から流出口より流出される流体の流線がくびれた状態となる急速弁閉動作位置に到達するまでの時間に対する弁体のリフト量は、流体の特性に応じて記憶手段に複数記憶された動作制御パターンに従って制御されることを特徴とする液だれ防止方法。
IPC (2件):
FI (2件):
F16K 23/00
, H01L 21/30 564 Z
引用特許:
出願人引用 (2件)
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流動体供給装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-095194
出願人:株式会社日立製作所
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計量ポンプ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-157019
出願人:株式会社エフ・ディー・ケイエンジニアリング
審査官引用 (2件)
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流動体供給装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-095194
出願人:株式会社日立製作所
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計量ポンプ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-157019
出願人:株式会社エフ・ディー・ケイエンジニアリング
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