特許
J-GLOBAL ID：201103067659179912
電子源及び画像形成装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120206
特許番号：特許第3088102号
出願日： 1999年04月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に配置された複数のX方向配線と、前記X方向配線と交差する複数のY方向配線と、前記X方向配線とY方向配線とを電気的に絶縁する絶縁層と、前記X方向配線とY方向配線とに電気的に接続され、それぞれに間隙を有する複数の導電性膜とから構成される電子源の製造方法であって、前記複数のX方向配線と前記複数のY方向配線とに接続する複数の導電性膜を配置する導電性膜配置ステップと、前記複数のX方向配線を、各々のグループが複数のX方向配線から構成されるように、複数のグループに分け、前記各々のグループを構成するそれぞれの配線間に、他のグループを構成するX方向配線が存在するようにし、1つのグループを構成するすべてのX方向配線に同時に電圧を印加する工程を、順次別のグループに施すことにより、前記複数の導電性膜のそれぞれに間隙を形成する通電フォーミングステップとを含み、前記通電フォーミングステップにおいて、一つのグループを構成するX方向配線と、前記一つのグループに続いて電圧が印加される別のグループを構成するX方向配線との間に、他の別のグループを構成するX方向配線が存在するようにすることを特徴とする電子源の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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