特許
J-GLOBAL ID：201103067990265837

粒子ビーム装置および方法

発明者：
ヒューバート マンツ

ヒューバート マンツ について

, 
ライナー アーノルド

ライナー アーノルド について

, 
ミヒャエル アルビーズ

ミヒャエル アルビーズ について


出願人/特許権者：
カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハー

カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハー について


代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  澤田 達也 ,  下地 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-178163
公開番号（公開出願番号）：特開2011-040384
出願日： 2010年08月06日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：
【課題】粒子ビームを用いて試料の構造に関する情報を得るための検査方法において、試料から放出された電子およびx線から試料に関する情報を得ることができる検出方法および検査装置を提案する。【解決手段】検査方法は、試料に粒子ビームを集束するステップと、試料に隣接して配置した少なくとも1つの検出器を作動するステップと、少なくとも1つの検出器によって生成した検出信号を異なった強度間隔に割り当てるステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射した電子に関連した少なくとも1つの第1信号成分を決定するステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射したX線に関連した少なくとも1つの第2信号成分を決定するステップとを含む。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
試料に粒子ビームを集束するステップと、 試料に隣接して配置した少なくとも1つの検出器を作動するステップと、 前記少なくとも1つの検出器によって生成した検出信号を異なる複数の強度間隔に割り当てるステップと、 前記強度間隔に割り当てた前記検出信号に基づいて、前記検出器に入射した電子に関連した少なくとも1つの第1信号成分を決定するステップと、 前記強度間隔に割り当てた前記検出信号に基づいて、前記検出器に入射したX線に関連した少なくとも1つの第2信号成分を決定するステップと を含むことを特徴とする検査方法。
IPC (6件)：
H01J 37/244 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/317 ,  H01J 37/22 ,  G01N 23/225
FI (6件)：
H01J37/244 ,  H01J37/252 A ,  H01J37/28 B ,  H01J37/317 D ,  H01J37/22 502Z ,  G01N23/225
Fターム (26件)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001GA01 ,  2G001GA12 ,  2G001HA13 ,  2G001KA01 ,  2G001KA12 ,  5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NN04 ,  5C033NP04 ,  5C033NP05 ,  5C033NP06 ,  5C033NP08 ,  5C033PP04 ,  5C033PP05 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C034DD06
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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