特許
J-GLOBAL ID：201103068489695291

ヒータユニット

発明者：
山川 正文

山川 正文 について


出願人/特許権者：
株式会社ブリヂストン

株式会社ブリヂストン について


代理人 (5件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-231377
公開番号（公開出願番号）：特開2011-081939
出願日： 2009年10月05日
公開日（公表日）： 2011年04月21日
要約：
【課題】 簡単な構造で、内ヒータと外ヒータとの互いの相対距離を適正に維持することができるヒータユニットを提供する。【解決手段】 本発明に係るヒータユニット1は、通電によって加熱されるヒータ7と、該ヒータ7の平面方向の位置を規制する複数の位置決め部材4と、を備え、前記ヒータ7は、内周側に配置される内ヒータ8と、該内ヒータ8の外周側に配置される外ヒータ9とからなり、前記位置決め部材4は、内ヒータ8と外ヒータ9との間に配置されて、これら内ヒータ8および外ヒータ9の位置を規制するように構成している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
略円形状に加工された半導体ウエハを加熱する略円形状の加熱面を有するヒータユニットであって、 前記加熱面の中央を含む前記加熱面の内側に配置される略円形の内ヒータと、 前記内ヒータの径方向外側に配置される環状の外ヒータと、 前記外ヒータと前記内ヒータの境界に配置されており前記外ヒータと前記内ヒータの双方に当接する複数の位置決め部材とを有し、 前記複数の位置決め部材は、前記外ヒータと前記内ヒータとの境界に含まれる同心円上に等間隔に配置されるヒータユニット。
IPC (4件)：
H05B 3/68 ,  H05B 3/00 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205
FI (4件)：
H05B3/68 ,  H05B3/00 360 ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/205
Fターム (12件)：
3K058AA86 ,  3K058BA19 ,  3K058CE19 ,  3K058CE21 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092RF03 ,  3K092VV02 ,  5F004BB26 ,  5F004CA04 ,  5F045DP02 ,  5F045EK08
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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