特許
J-GLOBAL ID：200903006805312169
基板加熱時の出力の決定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-090856
公開番号（公開出願番号）：特開2005-277242
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】基板加熱時に複数の熱源から出力されるエネルギー量を短時間で精度良く、かつ、容易に決定する。【解決手段】熱処理装置では、まず、補助加熱を行うホットプレートの各ゾーンを基準温度にしてフラッシュランプからの光の照射による主加熱が基板に対して行われ、さらに、ホットプレートのゾーン数に等しい6つの基板に対して、各ゾーンの温度をオフセットした上でフラッシュランプによる処理が行われる。次に、各基板上の複数の計測点におけるシート抵抗が計測装置により計測され、シート抵抗の分布の変化が各ゾーンの温度のオフセット値に対して独立かつ線形の関係を有すると仮定して、各計測点におけるシート抵抗の分布に対する各ゾーンの温度のオフセット値の影響を示す係数が求められる。その後、シート抵抗の分散を最小にする各ゾーンの温度の目標オフセット値が算出され、各ゾーンの目標温度が短時間で精度良く、かつ、容易に決定される。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
互いに異なるエネルギー分布にて基板を加熱する複数の熱源から出力されるエネルギー量を決定する基板加熱時の出力の決定方法であって、
a) 前記複数の熱源から基準となる複数のエネルギー量をそれぞれ出力して基板に加熱を伴う処理を行う工程と、
b) 1以上の熱源から出力されるエネルギー量を基準となるエネルギー量から変更しつつ、実質的に前記複数の熱源の数と等しい数の基板のそれぞれに加熱を伴う処理を行う工程と、
c) 前記a)工程において処理された前記基板上の前記複数の熱源の数以上の個数の複数の計測点において所定の物理量を計測して前記物理量の基準ベクトルを取得し、さらに、前記b)工程において処理された複数の基板上の前記複数の計測点において前記物理量を計測する工程と、
d) 前記b)工程において処理された各基板の各計測点の前記物理量が、各熱源おける基準となるエネルギー量からの変更に対して独立かつ線形に変化すると仮定し、前記各熱源について、出力されるエネルギー量の基準となるエネルギー量からの変更量に対する前記複数の計測点における前記物理量の変化量の割合を示す係数ベクトルを求める工程と、
e) 基板上の前記複数の計測点における前記物理量を示す物理量ベクトルを、前記係数ベクトルと対応する熱源から出力されるエネルギー量の変更量との積を全ての熱源について求めて加算し、さらに、前記基準ベクトルを加えたものとして表し、前記物理量ベクトルの要素のばらつきを示す評価関数を用いて前記ばらつきが最小となるときの前記複数の熱源のそれぞれから出力されるエネルギー量を決定する工程と、
を備えることを特徴とする基板加熱時の出力の決定方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/26 T
, H01L21/265 602B
, H01L21/26 Q
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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