微小変位装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：近島一夫 , 相田伸二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-399431
公開番号（公開出願番号）：特開2003-195946
特許番号：特許第3884288号
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 2個の剛体部と、これら剛体部を相対移動可能に連結する少なくとも2個の撓み梁と、前記2個の剛体部に相対変位を生じる微小変位アクチュエータと、を備えてなる微小変位装置において、前記2個の剛体部にそれぞれ連結されると共に前記微小変位アクチュエータに当接し、前記2個の剛体部の内の一方に連結する連結部を支点とし、他方に連結する連結部を作用点とし、前記微小変位アクチュエータの当接部を力点として、前記一方の剛体部との間で前記微小変位アクチュエータが前記力点に生じる変位を、変倍して前記作用点から前記他方の剛体部へ伝達する変位変更手段を備え、該変位変更手段及び前記微小変位アクチュエータとが、前記2個の剛体部と2個の撓み梁とで囲まれた空間部の外側に配置され、前記微小変位アクチュエータは、前記一方の剛体部に形成された凹部に配置されると共に、その変位方向の端面が前記凹部の開口に開放されて位置し、前記変位変更手段に調整スクリューが貫通して螺合されて、該調整スクリューの先端が前記微小変位アクチュエータの開放側端面に当接し、かつ前記変位変更手段が、前記2個の撓み梁の一方の外側を覆うように配置されてなる、ことを特徴とする微小変位装置。

IPC (3件)：

G05D 3/00 ( 200 6.01) , H01L 41/083 ( 200 6.01) , H02N 2/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G05D 3/00 A , G05D 3/00 G , H01L 41/08 N , H02N 2/00 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

テーブル機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-245169 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平1-161790
特開平3-051791

審査官引用 (3件)

テーブル機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-245169 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平1-161790
特開平3-051791

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