ZnSe多結晶体の炭酸ガスレーザ用回折型光学部品の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外4名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-397640
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198358
特許番号：特許第3473580号
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ZnとH2Seを用いてZnSe多結晶体を合成する工程と、前記合成されたZnSe多結晶体から切り出されたZnSe多結晶基板を、炭化水素基を含まない塩素系ガスを用いて、反応性イオンエッチング法によりエッチングする工程とを含む、ZnSe多結晶体の炭酸ガスレーザ用回折型光学部品の製造方法。

IPC (3件)：